Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223754| Заглавие документа: | Применение высокодозной ионной имплантации для синтеза кристаллических преципитатов InAs в Si и SiO2 |
| Авторы: | Купчишин, А. И. Власукова, Л. А. Мильчанин, О. В. Комаров, А. Ф. Wesch, W. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 254-256. |
| Аннотация: | Наноразмерные кристаллиты InAs синтезированы в матрицах кристаллического кремния и диоксида кремния с помощью высокодозной «горячей» имплантации ионов мышьяка и индия и высокотемпературного отжига. Для анализа распределения примесей и оценки структурных и оптических характеристик имплантированных слоев использовались методы РОРКИ, ПЭМ и низкотемпературной ФЛ. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223754 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 254-256.pdf | 610,45 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.