Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223568| Title: | Кинетика формирования различных типов водородосодержащих доноров в кремнии, имплантированном протонами |
| Authors: | Покотило, Ю. М. Петух, А. Н. Дзичковский, О. А. Камышан, А. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 157-158. |
| Abstract: | В работе рассматривается два типа водородсодержащих доноров в кремнии, возникающих после имплантации его низкоэнергетическими протонами (300 кэВ) с последующим отжигом (Т-400 °С). Часть доноров, проявляющая бистабильный характер поведения, по результатам вычисления параметров накопления и сопоставления с данными других работ ассоциируется с HDD (hydrogen double donors). Измерения проводились на диодных структурах Шоттки (сопротивление базы - 1 Ом*см), облученных через металлический контакт. Электронные профили получены стандартным методом C-V характеристик (рабочая частота 1 МГц), измерения проведены при комнатной температуре. Отжиг образцов производился в кварцевой трубке на воздухе. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223568 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 157-158.pdf | 438,94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.