Кинетика формирования различных типов водородосодержащих доноров в кремнии, имплантированном протонами

Abstract

В работе рассматривается два типа водородсодержащих доноров в кремнии, возникающих после имплантации его низкоэнергетическими протонами (300 кэВ) с последующим отжигом (Т-400 °С). Часть доноров, проявляющая бистабильный характер поведения, по результатам вычисления параметров накопления и сопоставления с данными других работ ассоциируется с HDD (hydrogen double donors). Измерения проводились на диодных структурах Шоттки (сопротивление базы - 1 Ом*см), облученных через металлический контакт. Электронные профили получены стандартным методом C-V характеристик (рабочая частота 1 МГц), измерения проведены при комнатной температуре. Отжиг образцов производился в кварцевой трубке на воздухе.