Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223568
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПокотило, Ю. М.-
dc.contributor.authorПетух, А. Н.-
dc.contributor.authorДзичковский, О. А.-
dc.contributor.authorКамышан, А. С.-
dc.date.accessioned2019-07-11T09:28:06Z-
dc.date.available2019-07-11T09:28:06Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 157-158.ru
dc.identifier.isbn978-985-476-530-3-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/223568-
dc.description.abstractВ работе рассматривается два типа водородсодержащих доноров в кремнии, возникающих после имплантации его низкоэнергетическими протонами (300 кэВ) с последующим отжигом (Т-400 °С). Часть доноров, проявляющая бистабильный характер поведения, по результатам вычисления параметров накопления и сопоставления с данными других работ ассоциируется с HDD (hydrogen double donors). Измерения проводились на диодных структурах Шоттки (сопротивление базы - 1 Ом*см), облученных через металлический контакт. Электронные профили получены стандартным методом C-V характеристик (рабочая частота 1 МГц), измерения проведены при комнатной температуре. Отжиг образцов производился в кварцевой трубке на воздухе.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Изд. центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКинетика формирования различных типов водородосодержащих доноров в кремнии, имплантированном протонамиru
dc.typeconference paperru
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
157-158.pdf438,94 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.