Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223568
Title: Кинетика формирования различных типов водородосодержащих доноров в кремнии, имплантированном протонами
Authors: Покотило, Ю. М.
Петух, А. Н.
Дзичковский, О. А.
Камышан, А. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 157-158.
Abstract: В работе рассматривается два типа водородсодержащих доноров в кремнии, возникающих после имплантации его низкоэнергетическими протонами (300 кэВ) с последующим отжигом (Т-400 °С). Часть доноров, проявляющая бистабильный характер поведения, по результатам вычисления параметров накопления и сопоставления с данными других работ ассоциируется с HDD (hydrogen double donors). Измерения проводились на диодных структурах Шоттки (сопротивление базы - 1 Ом*см), облученных через металлический контакт. Электронные профили получены стандартным методом C-V характеристик (рабочая частота 1 МГц), измерения проведены при комнатной температуре. Отжиг образцов производился в кварцевой трубке на воздухе.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223568
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
157-158.pdf438,94 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.