Особенности воздействия мощных лазерных импульсов на слои пористого кремния

Abstract

В настоящее время пористый кремний активно изучается, поскольку является перспективным материалом опто- и микроэлектроники. Особый интерес представля­ет пористый кремний, наполненный различными гетероматериалами, например редкоземельными элементами или германием, для создания оптически активных струк­тур и фотоприемников различного диапазона. Однако для создания таких структур пористый кремний требует дальнейшей модификации для придания ему необходи­мых свойств, например создание однородного слоя или напротив - формирование наноразмерных включений в объеме материала. Одним из возможных методов модификация пористого кремния является импульсный лазерный отжиг. Воздейст­вие мощных лазерных импульсов на монокристаллический кремний, подвергнутый ионной имплантации, и на аморфные слои кремния изучается достаточно дли­тельное время. В представленной работе мы применили такое воздействие для мо­дификации свойств пористого кремния.