Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223440
Заглавие документа: | Особенности воздействия мощных лазерных импульсов на слои пористого кремния |
Авторы: | Русецкий, М. С. Казючиц, Н. М. Ивлев, Г. Д. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2008 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 150-152 |
Аннотация: | В настоящее время пористый кремний активно изучается, поскольку является перспективным материалом опто- и микроэлектроники. Особый интерес представляет пористый кремний, наполненный различными гетероматериалами, например редкоземельными элементами или германием, для создания оптически активных структур и фотоприемников различного диапазона. Однако для создания таких структур пористый кремний требует дальнейшей модификации для придания ему необходимых свойств, например создание однородного слоя или напротив - формирование наноразмерных включений в объеме материала. Одним из возможных методов модификация пористого кремния является импульсный лазерный отжиг. Воздействие мощных лазерных импульсов на монокристаллический кремний, подвергнутый ионной имплантации, и на аморфные слои кремния изучается достаточно длительное время. В представленной работе мы применили такое воздействие для модификации свойств пористого кремния. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223440 |
ISBN: | 978-985-518-091-4 |
Располагается в коллекциях: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
150-152.pdf | 527,65 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.