Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223423
Заглавие документа: | ЭПР-диагностика углеродных пленок, структурированных на стекле |
Авторы: | Азарко, И. И. Гончаров, В. К. Гусаков, Г. А. Карпович, И. А. Оджаев, В. Б. Пузырев, М. В. Толстых, П. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2008 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 116-117 |
Аннотация: | В настоящее время темпы развития научно-технического прогресса постоянно требуют создания новых и перспективных материалов, а также улучшения свойств и характеристик уже имеющихся. Углеродные пленки, обладая радиационной стойкостью и химической инертностью, хорошо зарекомендовали себя при использовании в инструментальной промышленности и микроэлектронике, удачно сочетая преимущества как алмаза, так и графита. Ранее осаждение углеродных покрытий проводилось для создания защитных и просветляющих покрытий в оптоэлектронике, а сегодня на первый план выходят проблемы формирования многофункциональных структур. Среди многообразия методик создания УП импульсное лазерное осаждение отличается широким выбором начальных параметров осаждения, материала подложки и отсутствием ферромагнитных включений, характерных при синтезе с использованием металлов-катализаторов. Целью настоящей работы является изучение влияния структуры источника атомов углерода, а также плотности мощности излучения неодимового лазера на парамагнитные свойства формируемых пленок. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223423 |
ISBN: | 978-985-518-091-4 |
Располагается в коллекциях: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
116-117.pdf | 386,35 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.