ЭПР-диагностика углеродных пленок, структурированных на стекле

Abstract

В настоящее время темпы развития научно-технического прогресса постоянно требуют создания новых и перспективных материалов, а также улучшения свойств и характеристик уже имеющихся. Углеродные пленки, обладая радиационной стойко­стью и химической инертностью, хорошо зарекомендовали себя при использовании в инструментальной промышленности и микроэлектронике, удачно сочетая преиму­щества как алмаза, так и графита. Ранее осаждение углеродных покрытий проводилось для создания защитных и просветляющих покрытий в оптоэлектронике, а сегодня на первый план выходят проблемы формирования многофункциональных структур. Среди многообразия методик создания УП импульсное лазерное осаждение от­личается широким выбором начальных параметров осаждения, материала подложки и отсутствием ферромагнитных включений, характерных при синтезе с использова­нием металлов-катализаторов. Целью настоящей работы является изучение влияния структуры источника атомов углерода, а также плотности мощности излучения не­одимового лазера на парамагнитные свойства формируемых пленок.