Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223418
Title: | Образование дефектов в запробежной области кремниевых структур, облученных альфа-частицами |
Authors: | Макаренко, Л. Ф. Коршунов, Ф. П. Ластовский, С. Б. Хиврич, В. И. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2008 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 109-112 |
Abstract: | Ионная имплантация является неотъемлемой частью технологии создания современных полупроводниковых приборов. В результате передачи энергии быстрых ионов атомам полупроводника образуются радиационные дефекты различных типов. Наиболее интенсивно процесс дефектообразования протекает в области вблизи Rp, где Rp - проекционный пробег ионов. Дефекты, образующиеся в этой области, исследованы достаточно хорошо различными методами и достигнуто адекватное описание механизмов их образования. Однако в ряде работ сообщается об образовании радиационных дефектов в областях, в которые имплантированные ионы не проникают - эффект дальнодействия. Механизмы такого дефектообразования окончательно не установлены. Считается, что определяющим фактором этого процесса является локальная деформация решетки, происходящая при взаимодействии ионов с кристаллом. Однако до сих пор нет однозначной трактовки механизма происходящих процессов и требуются новые экспериментальные данные, которые позволили бы выявить характерные особенности эффекта дальнодействия. С этой целью нами были предприняты исследования дефектообразования в различных областях полупроводниковых структур, облученных альфачастицами. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223418 |
ISBN: | 978-985-518-091-4 |
Appears in Collections: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
109-112.pdf | 687,19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.