Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223282| Title: | Синтез пленок SiC при импульсной фотонной обработке кремния в углеродосодержащей среде |
| Authors: | Домашевская, Э. П. Иевлев, В. М. Панков, К. Н. Терехов, В. А. Ильин, В. С. Кущев, С. Б. Солдатенко, С. А. Федорова, Е. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 32-34 |
| Abstract: | Методами ПЭМ и ДБЭ проведены исследования фазового состава, структуры и ориентации пленок, полученных при импульсной фотонной обработке Si-подложки в углеродосодержащей среде. Показана возможность синтеза ориентированных пленок SiC. Определена пороговая энергия поступающего излучения, необходимого для активации процесса Установлено, что совершенство структуры эпитаксиальных пленок карбида кремния зависит от парциального давления газа и энергии излучения. Методом УМРЭС установлено, что для всех синтезированных пленок наряду с кристаллической фазой (b-SiC) присутствует аморфная фаза (a-SiC), количество которой с увеличением дозы облучения уменьшается. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223282 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.