Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223282
Title: Синтез пленок SiC при импульсной фотонной обработке кремния в углеродосодержащей среде
Authors: Домашевская, Э. П.
Иевлев, В. М.
Панков, К. Н.
Терехов, В. А.
Ильин, В. С.
Кущев, С. Б.
Солдатенко, С. А.
Федорова, Е. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 32-34
Abstract: Методами ПЭМ и ДБЭ проведены исследования фазового состава, структуры и ориентации пленок, полученных при импульсной фотонной обработке Si-подложки в углеродосодержащей среде. Показана возможность синтеза ориентированных пленок SiC. Определена пороговая энергия поступающего излучения, необходимого для активации процесса Установлено, что совершенство структуры эпитаксиальных пленок карбида кремния зависит от парциального давления газа и энергии излучения. Методом УМРЭС установлено, что для всех синтезированных пленок наряду с кристаллической фазой (b-SiC) присутствует аморфная фаза (a-SiC), количество которой с увеличением дозы облучения уменьшается.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223282
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
32-34.pdf616,75 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.