Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223066
Заглавие документа: | Влагостойкость примесносиликатных стекол |
Авторы: | Лабуда, А. А. Сидерко, А. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 1997 |
Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1997. – № 1. – С. 18-21. |
Аннотация: | Moisture resistance of doped silicate glasses used in planarization of integrated circuits has been experimentally studied. It has been shown that leaching of a dopant can take place under the effect of moisture. The measures aimed at the improvement of moisture resistance of the above glasses are demonstrated. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223066 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 1997, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.