Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215206| Заглавие документа: | Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке |
| Другое заглавие: | Peculiarities of the formation modes of platinum silicide during the rapid thermal treatment / V. A. Solodukha, V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko |
| Авторы: | Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко, В. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 101-104. |
| Аннотация: | Обоснованы режимы формирования силицида платины с использованием быстрой термической обработки. Показано, что проведение твердофазного синтеза вплоть до 810 °С не вызывает в пластинах возникновения термических напряжений, превышающих предел текучести кремния, а для исключения влияния на данный процесс кислорода его необходимо проводить в среде азота. |
| Аннотация (на другом языке): | There were substantiated the formation modes of platinum silicide with application of the rapid thermal treatment. It was shown, that performance of the solid phase synthesis close to 810º C does not result in the emergence in the wafers of the thermal stresses exceeding the silicon yield point, and in order to preclude influence of the given process of oxygen it is necessary to perform it in the nitrogen medium. |
| Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215206 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Располагается в коллекциях: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 101-104.pdf | 372,41 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.