Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215206
Title: Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке
Other Titles: Peculiarities of the formation modes of platinum silicide during the rapid thermal treatment / V. A. Solodukha, V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko
Authors: Солодуха, В. А.
Пилипенко, В. А.
Горушко, В. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2018
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 101-104.
Abstract: Обоснованы режимы формирования силицида платины с использованием быстрой термической обработки. Показано, что проведение твердофазного синтеза вплоть до 810 °С не вызывает в пластинах возникновения термических напряжений, превышающих предел текучести кремния, а для исключения влияния на данный процесс кислорода его необходимо проводить в среде азота.
Abstract (in another language): There were substantiated the formation modes of platinum silicide with application of the rapid thermal treatment. It was shown, that performance of the solid phase synthesis close to 810º C does not result in the emergence in the wafers of the thermal stresses exceeding the silicon yield point, and in order to preclude influence of the given process of oxygen it is necessary to perform it in the nitrogen medium.
Description: Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215206
ISBN: 978-985-566-671-5
Appears in Collections:2018. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
101-104.pdf372,41 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.