Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215198| Title: | Фазовые превращения в системе: двухслойная пленка Pt/Ni – Si при БТО |
| Other Titles: | Phase transformation in Pt/Ni-Si two- layer film system uder rapid thermal processing / M. I. Markevich, A. M Chaplanov, Ya. A. Soloviev, O. E. Sarychev, S. B. Kushchev, O. V. Serbin |
| Authors: | Маркевич, М. И. Чапланов, А. М. Соловьев, Я. А. Сарычев, О. Э. Кущев, С. Б. Сербин, О. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 70-73. |
| Abstract: | Методами сканирующей электронной микроскопии и электронографии установлены особенности фазовых превращений в системе двухслойная пленка Pt/Ni-Si при БТО. Показаны особенности фотонной обработки перед стационарной обработкой. |
| Abstract (in another language): | Scanning electron microscopy and electron diffraction have revealed features of phase transformations in a two-layer Pt/Ni-Si film system in BTO. The features of photon processing before stationary treatment are shown. |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215198 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Appears in Collections: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.