Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/215198
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМаркевич, М. И.
dc.contributor.authorЧапланов, А. М.
dc.contributor.authorСоловьев, Я. А.
dc.contributor.authorСарычев, О. Э.
dc.contributor.authorКущев, С. Б.
dc.contributor.authorСербин, О. В.
dc.date.accessioned2019-02-21T13:28:12Z-
dc.date.available2019-02-21T13:28:12Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 70-73.
dc.identifier.isbn978-985-566-671-5
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/215198-
dc.descriptionСвойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе
dc.description.abstractМетодами сканирующей электронной микроскопии и электронографии установлены особенности фазовых превращений в системе двухслойная пленка Pt/Ni-Si при БТО. Показаны особенности фотонной обработки перед стационарной обработкой.
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleФазовые превращения в системе: двухслойная пленка Pt/Ni – Si при БТО
dc.title.alternativePhase transformation in Pt/Ni-Si two- layer film system uder rapid thermal processing / M. I. Markevich, A. M Chaplanov, Ya. A. Soloviev, O. E. Sarychev, S. B. Kushchev, O. V. Serbin
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeScanning electron microscopy and electron diffraction have revealed features of phase transformations in a two-layer Pt/Ni-Si film system in BTO. The features of photon processing before stationary treatment are shown.
Располагается в коллекциях:2018. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
70-73.pdf1,42 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.