Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212764| Заглавие документа: | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем |
| Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | Белорусский государственный университет, физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
| Аннотация: | Аннотация программы учебной дисциплины «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем», разработанной для специальности 1-31 04 01-01 Физика (научно-исследовательская деятельность); специализация 1-31 04 01-01 06 «Физика полупроводников и диэлектриков». |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212764 |
| Располагается в коллекциях: | Физика (по направлениям) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Описание дисциплины_Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем.pdf | 99,3 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.