Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/212764

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Пилипенко, Владимир Александрович	-
dc.date.accessioned	2019-01-16T15:26:44Z	-
dc.date.available	2019-01-16T15:26:44Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/212764	-
dc.description.abstract	Аннотация программы учебной дисциплины «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем», разработанной для специальности 1-31 04 01-01 Физика (научно-исследовательская деятельность); специализация 1-31 04 01-01 06 «Физика полупроводников и диэлектриков».	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусский государственный университет, физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем	ru
dc.type	annotation	ru
Appears in Collections:	Физика (по направлениям)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Описание дисциплины_Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем.pdf		99,3 kB	Adobe PDF	View/Open