Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212764Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Пилипенко, Владимир Александрович | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-16T15:26:44Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-16T15:26:44Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212764 | - |
| dc.description.abstract | Аннотация программы учебной дисциплины «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем», разработанной для специальности 1-31 04 01-01 Физика (научно-исследовательская деятельность); специализация 1-31 04 01-01 06 «Физика полупроводников и диэлектриков». | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Белорусский государственный университет, физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем | ru |
| dc.type | annotation | ru |
| Располагается в коллекциях: | Физика (по направлениям) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Описание дисциплины_Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем.pdf | 99,3 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.