Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212764| Title: | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Белорусский государственный университет, физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
| Abstract: | Аннотация программы учебной дисциплины «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем», разработанной для специальности 1-31 04 01-01 Физика (научно-исследовательская деятельность); специализация 1-31 04 01-01 06 «Физика полупроводников и диэлектриков». |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212764 |
| Appears in Collections: | Физика (по направлениям) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Описание дисциплины_Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем.pdf | 99,3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.