Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/211033| Title: | Формирование пленки нитрида титана при быстрой термообработке |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович Пономарь, Владимир Николаевич Пилипенко, Ирина Владимировна |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2003. - № 2. – С. 38-42. |
| Abstract: | In this article there was analyzed the process of TiN synthesis by means of rapid thermal annealing of titanium-silicon system in the nitrogen atmosphere. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/211033 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2003, №2 (май) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.