Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/211033
Title: Формирование пленки нитрида титана при быстрой термообработке
Authors: Пилипенко, Владимир Александрович
Пономарь, Владимир Николаевич
Пилипенко, Ирина Владимировна
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2003
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2003. - № 2. – С. 38-42.
Abstract: In this article there was analyzed the process of TiN synthesis by means of rapid thermal annealing of titanium-silicon system in the nitrogen atmosphere.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/211033
ISSN: 0321-0367
Appears in Collections:2003, №2 (май)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
38-42.pdf2,92 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.