Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/211033| Заглавие документа: | Формирование пленки нитрида титана при быстрой термообработке |
| Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович Пономарь, Владимир Николаевич Пилипенко, Ирина Владимировна |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2003. - № 2. – С. 38-42. |
| Аннотация: | In this article there was analyzed the process of TiN synthesis by means of rapid thermal annealing of titanium-silicon system in the nitrogen atmosphere. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/211033 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2003, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.