Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208224
Заглавие документа: Взаимодействие карбонилсодержащих негативных резистов c видимым и УФ излучением
Другое заглавие: The interaction of carbonyl-containing negative resist with visible and UV radiation / V.V.Griroryev, A.V.Pavlov
Авторы: Григорьев, В. В.
Павлов, А. В.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2003
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 237-238.
Аннотация: Синтезированы поликонденсационные смолы, содержащие карбонильные и гидроксильные группы в боковой цепи макромолекулы. Путем полимераналогичных превращений в состав макромолекул были введены дополнительные функциональные группы: азидные, халконовые, а также остатки непредельных карбоновых кислот. На базе полученных высокомолекулярных соединений разработаны негативные резистивные композиции. Для них определена светочуствительность к излучению в видимом диапазоне спектра (лампа ДРШ-250) с использованием как добавленного, так и внутреннего азидного сенсибилизатора. Рассчитана также чувствительность композиций к УФ излучению в области 220-280 нм. Для указанных резистов отработаны операции литографического процесса, включая травление различными способами. Методом электрографии определена дефектность слоев после проведения литографии.
Аннотация (на другом языке): Polycondensates having carbonyl and phenolic hydroxyl groups were synthesized. Macromolecules with additional functional units, for example, azides, halcones and rests of somecarboxylic acids were prepared by polymer analogous transformations. On the basis of syntesized high-molecular compounds the negative resistive compositions were work out.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/208224
ISBN: 985-445-236-0; 985-445-235-2
Располагается в коллекциях:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
237-238.pdf2,23 MBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.