Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206645| Заглавие документа: | ОЖЕ-спектроскопия Ti/TiN-контактной металлизации алмаза |
| Другое заглавие: | AES spectroscopy of Ti/TiN contact metallization of diamond / V.S.Solov’yev, G.A.Gusakov, O.V.Krekoten', E.A.Semenov |
| Авторы: | Соловьев, В. С. Гусаков, Г. А. Крекотень, О. В. Семенов, Е. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 198-200. |
| Аннотация: | Исследован состав тонкопленочной металлизационной системы Ti/TiN, осажденной на синтетический алмаз методом магнетронного распыления. Наблюдалось некоторое загрязнение пленок кислородом и углеродом, причем углерод находился в составе карбидной фазы. Термообработка в вакууме при 700-800°С приводит к формированию слоя карбида титана в области границы раздела алмаз/Ті. Азот из нитридного слоя не диффундирует в слой карбида и прилегающую область алмаза. Слой TiN является также диффузионным барьером для Ti и Au, нанесенного на поверхность нитрида. |
| Аннотация (на другом языке): | The composition of titanium and titanium nitride films deposited on the synthetic diamond using the method magnetron sputtering has been studied. Some contamination of films by oxygen and cement carbon is take place. Annealing at high temperature (700 - 800°C) leads to the formation of a titanium carbide layer at the diamond/Ti interface Nitrogen does not diffuse into carbide layer and adjacent region of diamond. Titanium nitride layer also is a good diffusion barrier for titanium and gold deposited on the nitride surface. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206645 |
| ISBN: | 985-445-237-9 |
| Располагается в коллекциях: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 198-200.pdf | 2,72 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.