Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206643| Заглавие документа: | Investigation of metal evaporation and film deposition at middle vacuum by using a glow discharge electron gun |
| Авторы: | Porytsky, P. V. Kononov, A. V. Denbnovetsky, S. V. Melnyk, V. I. Melnyk, I. V. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 192-194. |
| Аннотация: | Glow discharge electron guns are widely used for realising different technological operations in the soft vacuum [1-4]. Its may be successfully applied for reactive evaporation of thing film of oxides and nitrides, which are used for covering of mechanical instrument and for obtaining of dielectric films in microelectronics [3,5]. In the present work the mathematical model of steam flow distribution and it condensation in the substrate is proposed and realised and its experimental verification provided. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206643 |
| ISBN: | 985-445-237-9 |
| Располагается в коллекциях: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 192-194.pdf | 2,51 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.