Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206620| Заглавие документа: | Установка для ионной имплантации металлов |
| Другое заглавие: | Machine for ion implantation of metals / Ch.Karvat, P.Zhukovsky, M.Kozak, K.Kishchak, E.Liskevich |
| Авторы: | Карват, Ч. Жуковски, П. Козак, М. Кищак, К. Лиськевич, Е. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 141-143. |
| Аннотация: | В работе представлена конструкция узлов разработанной и введённой в эксплуатацию установки для модификации материалов, в которой можно реализовать разные методы ионной имплантации. Описана конструкция камеры мишени, позволяющей контролировать изменения электрических свойств металлов непосредственно в процессе имплантации |
| Аннотация (на другом языке): | Construction of machine for modification materials was represented in this work and construction of target chamber was described. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206620 |
| ISBN: | 985-445-237-9 |
| Располагается в коллекциях: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 141-143.pdf | 2,39 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.