Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206620Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Карват, Ч. | - |
| dc.contributor.author | Жуковски, П. | - |
| dc.contributor.author | Козак, М. | - |
| dc.contributor.author | Кищак, К. | - |
| dc.contributor.author | Лиськевич, Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-10-04T08:51:58Z | - |
| dc.date.available | 2018-10-04T08:51:58Z | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 141-143. | ru |
| dc.identifier.isbn | 985-445-237-9 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206620 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлена конструкция узлов разработанной и введённой в эксплуатацию установки для модификации материалов, в которой можно реализовать разные методы ионной имплантации. Описана конструкция камеры мишени, позволяющей контролировать изменения электрических свойств металлов непосредственно в процессе имплантации | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Установка для ионной имплантации металлов | ru |
| dc.title.alternative | Machine for ion implantation of metals / Ch.Karvat, P.Zhukovsky, M.Kozak, K.Kishchak, E.Liskevich | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| dc.description.alternative | Construction of machine for modification materials was represented in this work and construction of target chamber was described. | ru |
| Располагается в коллекциях: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 141-143.pdf | 2,39 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.