Технологические возможности источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда «Радуга-5»

Рябчиков, А. И.; Степанов, И. Б.; Дектярев, С. В.; Шулепов, И. А.; Луконин, Е. И.; Сивин, Д. О.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/205832

Title:	Технологические возможности источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда «Радуга-5»
Other Titles:	Technological possibilities of "Raduga-5" DC vacuum arc source of accelerated ions and plasma / A.I.Ryabchikov, I.B.Stepanov, S.V.Dektyarev, I.A.Shulepov, E.I.Lukonin, D.O.Sivin
Authors:	Рябчиков, А. И. Степанов, И. Б. Дектярев, С. В. Шулепов, И. А. Луконин, Е. И. Сивин, Д. О.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2001
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 379-381.
Abstract:	Рассмотрены примеры реализации режимов высокоинтенсивной и высококонцентрационной ионной имплантации, плазменного нанесения покрытий, в том числе и в условиях динамического ионного перемешивания с использованием источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда "Радуга-5". Продемонстрирована возможность легирования материала на глубинах, превышающих на порядок длину проективного пробега ионов. Рассмотрены закономерности изменения свойств покрытий, сформированных в условиях снижения доли микрокапельной фракции в потоке дуговой плазмы.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/205832
ISBN:	985-445-236-0
Appears in Collections:	2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
379-381.pdf		714,71 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar