Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205832
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Рябчиков, А. И. | |
dc.contributor.author | Степанов, И. Б. | |
dc.contributor.author | Дектярев, С. В. | |
dc.contributor.author | Шулепов, И. А. | |
dc.contributor.author | Луконин, Е. И. | |
dc.contributor.author | Сивин, Д. О. | |
dc.date.accessioned | 2018-09-10T10:59:18Z | - |
dc.date.available | 2018-09-10T10:59:18Z | - |
dc.date.issued | 2001 | |
dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 379-381. | |
dc.identifier.isbn | 985-445-236-0 | |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205832 | - |
dc.description.abstract | Рассмотрены примеры реализации режимов высокоинтенсивной и высококонцентрационной ионной имплантации, плазменного нанесения покрытий, в том числе и в условиях динамического ионного перемешивания с использованием источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда "Радуга-5". Продемонстрирована возможность легирования материала на глубинах, превышающих на порядок длину проективного пробега ионов. Рассмотрены закономерности изменения свойств покрытий, сформированных в условиях снижения доли микрокапельной фракции в потоке дуговой плазмы. | |
dc.language.iso | ru | |
dc.publisher | Минск : БГУ | |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
dc.title | Технологические возможности источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда «Радуга-5» | |
dc.title.alternative | Technological possibilities of "Raduga-5" DC vacuum arc source of accelerated ions and plasma / A.I.Ryabchikov, I.B.Stepanov, S.V.Dektyarev, I.A.Shulepov, E.I.Lukonin, D.O.Sivin | |
dc.type | conference paper | |
Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
379-381.pdf | 714,71 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.