Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205832| Заглавие документа: | Технологические возможности источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда «Радуга-5» |
| Другое заглавие: | Technological possibilities of "Raduga-5" DC vacuum arc source of accelerated ions and plasma / A.I.Ryabchikov, I.B.Stepanov, S.V.Dektyarev, I.A.Shulepov, E.I.Lukonin, D.O.Sivin |
| Авторы: | Рябчиков, А. И. Степанов, И. Б. Дектярев, С. В. Шулепов, И. А. Луконин, Е. И. Сивин, Д. О. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2001 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 379-381. |
| Аннотация: | Рассмотрены примеры реализации режимов высокоинтенсивной и высококонцентрационной ионной имплантации, плазменного нанесения покрытий, в том числе и в условиях динамического ионного перемешивания с использованием источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда "Радуга-5". Продемонстрирована возможность легирования материала на глубинах, превышающих на порядок длину проективного пробега ионов. Рассмотрены закономерности изменения свойств покрытий, сформированных в условиях снижения доли микрокапельной фракции в потоке дуговой плазмы. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205832 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 379-381.pdf | 714,71 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.