Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205816| Title: | Методика расчета магнетронных распылительных систем несбалансированного типа |
| Other Titles: | Estimation method of unbalanced magnetron sputtering system / D.A. Golosov, I.V. Svadkovski, S.M. Zavatskiy |
| Authors: | Голосов, Д. А. Свадковский, И. В. Завадский, С. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 338-340. |
| Abstract: | На основании исследований трех конфигураций планарных магнетронных распылительных систем (МРС) установлены зависимости параметров ионного и распыленного потоков от степени несбалансированности магнетрона. Для количественной оценки степени несбалансированности введены понятия коэффициентов несбалансированности и геометрической несбалансированности МРС, которые характеризуют конфигурацию магнитного поля и величину ионного тока на подложку. Предложена методика расчета устройств и процессов формирования тонкопленочных покрытий методом несбалансированного магнетронного распыления с требуемым соотношением ион/атом на поверхности конденсации. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205816 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Appears in Collections: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 338-340.pdf | 703,54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.