Методика расчета магнетронных распылительных систем несбалансированного типа

Голосов, Д. А.; Свадковский, И. В.; Завадский, С. М.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/205816

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.
dc.contributor.author	Свадковский, И. В.
dc.contributor.author	Завадский, С. М.
dc.date.accessioned	2018-09-10T10:59:15Z	-
dc.date.available	2018-09-10T10:59:15Z	-
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 338-340.
dc.identifier.isbn	985-445-236-0
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/205816	-
dc.description.abstract	На основании исследований трех конфигураций планарных магнетронных распылительных систем (МРС) установлены зависимости параметров ионного и распыленного потоков от степени несбалансированности магнетрона. Для количественной оценки степени несбалансированности введены понятия коэффициентов несбалансированности и геометрической несбалансированности МРС, которые характеризуют конфигурацию магнитного поля и величину ионного тока на подложку. Предложена методика расчета устройств и процессов формирования тонкопленочных покрытий методом несбалансированного магнетронного распыления с требуемым соотношением ион/атом на поверхности конденсации.
dc.language.iso	ru
dc.publisher	Минск : БГУ
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.title	Методика расчета магнетронных распылительных систем несбалансированного типа
dc.title.alternative	Estimation method of unbalanced magnetron sputtering system / D.A. Golosov, I.V. Svadkovski, S.M. Zavatskiy
dc.type	conference paper
Appears in Collections:	2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
338-340.pdf		703,54 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar