Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/205816
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.
dc.contributor.authorСвадковский, И. В.
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.
dc.date.accessioned2018-09-10T10:59:15Z-
dc.date.available2018-09-10T10:59:15Z-
dc.date.issued2001
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 338-340.
dc.identifier.isbn985-445-236-0
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/205816-
dc.description.abstractНа основании исследований трех конфигураций планарных магнетронных распылительных систем (МРС) установлены зависимости параметров ионного и распыленного потоков от степени несбалансированности магнетрона. Для количественной оценки степени несбалансированности введены понятия коэффициентов несбалансированности и геометрической несбалансированности МРС, которые характеризуют конфигурацию магнитного поля и величину ионного тока на подложку. Предложена методика расчета устройств и процессов формирования тонкопленочных покрытий методом несбалансированного магнетронного распыления с требуемым соотношением ион/атом на поверхности конденсации.
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleМетодика расчета магнетронных распылительных систем несбалансированного типа
dc.title.alternativeEstimation method of unbalanced magnetron sputtering system / D.A. Golosov, I.V. Svadkovski, S.M. Zavatskiy
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
338-340.pdf703,54 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.