Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205814| Title: | Управление расходом газов в процессах ионно-лучевого осаждения покрытий на основе оксидов |
| Other Titles: | Control of the gases flow rate during ion-beam deposition on the oxides basis coating / A. Burmakov, N. Nikiforenko, V. Chorny |
| Authors: | Бурмаков, А. П. Никифоренко, Н. Н. Чёрный, В. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 333-334. |
| Abstract: | Описаны результаты исследования эмиссионного оптического спектра плазмы разряда ионного источника на базе ускорителя с анодным слоем. Предложены спектральные участки для контроля химического состава плазмы. Описан оптимальный алгоритм динамического управления расходом инертного и реактивного газов в процессах ионно-лучевого осаждения пленок оксидов различных материалов. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205814 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Appears in Collections: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 333-334.pdf | 499,19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.