Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205814Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | |
| dc.contributor.author | Никифоренко, Н. Н. | |
| dc.contributor.author | Чёрный, В. Е. | |
| dc.date.accessioned | 2018-09-10T10:59:14Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-10T10:59:14Z | - |
| dc.date.issued | 2001 | |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 333-334. | |
| dc.identifier.isbn | 985-445-236-0 | |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205814 | - |
| dc.description.abstract | Описаны результаты исследования эмиссионного оптического спектра плазмы разряда ионного источника на базе ускорителя с анодным слоем. Предложены спектральные участки для контроля химического состава плазмы. Описан оптимальный алгоритм динамического управления расходом инертного и реактивного газов в процессах ионно-лучевого осаждения пленок оксидов различных материалов. | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Минск : БГУ | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Управление расходом газов в процессах ионно-лучевого осаждения покрытий на основе оксидов | |
| dc.title.alternative | Control of the gases flow rate during ion-beam deposition on the oxides basis coating / A. Burmakov, N. Nikiforenko, V. Chorny | |
| dc.type | conference paper | |
| Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 333-334.pdf | 499,19 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.