Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205788
Title: | Модель элементарного акта преобразования структуры кластера, взаимодействующего с лазерным ИК - излучением |
Other Titles: | Elementary transformation act model of cluster structure interacting with IR laser radiation / A.V.Stepanov |
Authors: | Степанов, A. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2001 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 205-207. |
Abstract: | В работе предложена модель элементарного акта преобразования структуры кластера, взаимодействующего с лазерным ИК излучением, которая основывается на двух положениях: 1) в процессе преобразования, потенциальная энергия кластера изменяется дискретно (то есть квантуется): процесс преобразования представляет собой последовательно реализуемый набор (ряд) квантовых подсистем (одинаковых квантовых осцилляторов); 2) в интенсивном поле лазерного излучения обмен энергией между ИК излучением и атомами кластера приводит к дискретному поступательному движению этих атомов, которые поглощают колебательную энергию одинаковыми квантами вплоть до полного преобразования структуры кластера, соответствующего рекристаллизации полупроводникового слоя. Проведено численное моделирование процессов самодиффузии для кремния, германия и арсенида галлия. Показана возможность прогнозирования и оптимизации технологических процессов, связанных с твердофазной рекристаллизацией ионно-имплантированных полупроводниковых слоев. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205788 |
ISBN: | 985-445-236-0 |
Appears in Collections: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
205-207.pdf | 712,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.