Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182331| Заглавие документа: | Modification of amorphous Si-rich SiNx matrix by irradiation with swift heavy ions |
| Авторы: | Murzalinov, D. Akilbekov, A. Dauletbekova, A. Vlasukova, L. Makhavikou, M. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 103-105. |
| Аннотация: | The effects of 200 MeV-Xe+ irradiation with fluencies of (109-1014) cm-2 on the phase-structural transformation of Si-rich SiNx film deposited on Si substrate by LPCVD have been reported. It has been shown from RS data that the SHI irradiation results in the dissolution of amorphous Si nanoclusters in nitride matrix. It has been shown, too, that the SHI irradiation leads to quenching a visual PL from nitride films. It can be suggested that SHI irradiation before annealing can result in the formation of Si phase in nitride matrix with less Si excess in comparison the ordinary thermal annealing |
| Доп. сведения: | Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182331 |
| ISBN: | 978-985-553-446-5 |
| Располагается в коллекциях: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 103-105.pdf | 389,02 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.