Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182305| Title: | Роль нитрида титана в технологии формирования силицидов титана |
| Other Titles: | The role of titanium nitride in technology for formation of titanium silicides / M.I. Markevich, A.M. Chaplanov, P.P. Pershukevich, A.G. Coroz, A.N. Petlitsky, D.V. Zhigulin, S.B. Kushchev, D.V. Serikov |
| Authors: | Маркевич, М. И. Чапланов, А. М. Першукевич, П. П. Короза, А. Г. Петлицкий, А. Н. Жигулин, Д. В. Кущев, С. Б. Сериков, Д. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Минск: Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 464-465. |
| Abstract: | Приведены результаты структурных исследований и оптических свойств нитрида титана и силицида титана после быстрой термической обработки (БТО). Показано, что пленка нитрида титана обладает диффузионным барьерным свойством, что позволяет получать качественные пленки силицида титана = It is shown that the titanium nitride film has a diffusion barrier property, which makes it possible to obtain high-quality titanium silicide films |
| Description: | Секция 6. Современное оборудование и технологии |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182305 |
| ISBN: | 978-985-553-446-5 |
| Appears in Collections: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 464-465.pdf | 250,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.