Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182305
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМаркевич, М. И.
dc.contributor.authorЧапланов, А. М.
dc.contributor.authorПершукевич, П. П.
dc.contributor.authorКороза, А. Г.
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.
dc.contributor.authorЖигулин, Д. В.
dc.contributor.authorКущев, С. Б.
dc.contributor.authorСериков, Д. В.
dc.date.accessioned2017-09-28T07:51:37Z-
dc.date.available2017-09-28T07:51:37Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 464-465.
dc.identifier.isbn978-985-553-446-5
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/182305-
dc.descriptionСекция 6. Современное оборудование и технологии
dc.description.abstractПриведены результаты структурных исследований и оптических свойств нитрида титана и силицида титана после быстрой термической обработки (БТО). Показано, что пленка нитрида титана обладает диффузионным барьерным свойством, что позволяет получать качественные пленки силицида титана = It is shown that the titanium nitride film has a diffusion barrier property, which makes it possible to obtain high-quality titanium silicide films
dc.language.isoru
dc.publisherМинск: Изд. центр БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleРоль нитрида титана в технологии формирования силицидов титана
dc.title.alternativeThe role of titanium nitride in technology for formation of titanium silicides / M.I. Markevich, A.M. Chaplanov, P.P. Pershukevich, A.G. Coroz, A.N. Petlitsky, D.V. Zhigulin, S.B. Kushchev, D.V. Serikov
dc.typeconference paper
Appears in Collections:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
464-465.pdf250,89 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.