Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182305
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМаркевич, М. И.
dc.contributor.authorЧапланов, А. М.
dc.contributor.authorПершукевич, П. П.
dc.contributor.authorКороза, А. Г.
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.
dc.contributor.authorЖигулин, Д. В.
dc.contributor.authorКущев, С. Б.
dc.contributor.authorСериков, Д. В.
dc.date.accessioned2017-09-28T07:51:37Z-
dc.date.available2017-09-28T07:51:37Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 464-465.
dc.identifier.isbn978-985-553-446-5
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/182305-
dc.descriptionСекция 6. Современное оборудование и технологии
dc.description.abstractПриведены результаты структурных исследований и оптических свойств нитрида титана и силицида титана после быстрой термической обработки (БТО). Показано, что пленка нитрида титана обладает диффузионным барьерным свойством, что позволяет получать качественные пленки силицида титана = It is shown that the titanium nitride film has a diffusion barrier property, which makes it possible to obtain high-quality titanium silicide films
dc.language.isoru
dc.publisherМинск: Изд. центр БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleРоль нитрида титана в технологии формирования силицидов титана
dc.title.alternativeThe role of titanium nitride in technology for formation of titanium silicides / M.I. Markevich, A.M. Chaplanov, P.P. Pershukevich, A.G. Coroz, A.N. Petlitsky, D.V. Zhigulin, S.B. Kushchev, D.V. Serikov
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
464-465.pdf250,89 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.