Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182305
Title: Роль нитрида титана в технологии формирования силицидов титана
Other Titles: The role of titanium nitride in technology for formation of titanium silicides / M.I. Markevich, A.M. Chaplanov, P.P. Pershukevich, A.G. Coroz, A.N. Petlitsky, D.V. Zhigulin, S.B. Kushchev, D.V. Serikov
Authors: Маркевич, М. И.
Чапланов, А. М.
Першукевич, П. П.
Короза, А. Г.
Петлицкий, А. Н.
Жигулин, Д. В.
Кущев, С. Б.
Сериков, Д. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2017
Publisher: Минск: Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 464-465.
Abstract: Приведены результаты структурных исследований и оптических свойств нитрида титана и силицида титана после быстрой термической обработки (БТО). Показано, что пленка нитрида титана обладает диффузионным барьерным свойством, что позволяет получать качественные пленки силицида титана = It is shown that the titanium nitride film has a diffusion barrier property, which makes it possible to obtain high-quality titanium silicide films
Description: Секция 6. Современное оборудование и технологии
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182305
ISBN: 978-985-553-446-5
Appears in Collections:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
464-465.pdf250,89 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.