Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170237| Title: | Моделирование высококонцентрационной диффузии фосфора в кристаллическом кремнии |
| Authors: | Величко, О. И. Аксенов, В. В. Ануфриев, Л. П. Голубев, Н. Ф. Комаров, А. Ф. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси |
| Citation: | Инженерно-физический журнал. - 2013. - Том 86, № 3. - С. 626-634. |
| Abstract: | Проведено моделирование диффузии фосфора в кристаллическом кремнии при легировании из поверхностного источника при температуре 840 oС и длительности 10 мин. Получено хорошее совпадение с экспериментальными данными, что подтверждает адекватность использованной модели высококонцентрационной диффузии фосфора, которая учитывает дрейф собственных межузельных атомов в поле внутренних упругих напряжений |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170237 |
| ISSN: | 0021-0285 |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 626-634.pdf | 556,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.