Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170237Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Величко, О. И. | - |
| dc.contributor.author | Аксенов, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Ануфриев, Л. П. | - |
| dc.contributor.author | Голубев, Н. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, А. Ф. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-04-05T10:18:52Z | - |
| dc.date.available | 2017-04-05T10:18:52Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Инженерно-физический журнал. - 2013. - Том 86, № 3. - С. 626-634. | ru |
| dc.identifier.issn | 0021-0285 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170237 | - |
| dc.description.abstract | Проведено моделирование диффузии фосфора в кристаллическом кремнии при легировании из поверхностного источника при температуре 840 oС и длительности 10 мин. Получено хорошее совпадение с экспериментальными данными, что подтверждает адекватность использованной модели высококонцентрационной диффузии фосфора, которая учитывает дрейф собственных межузельных атомов в поле внутренних упругих напряжений | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Моделирование высококонцентрационной диффузии фосфора в кристаллическом кремнии | ru |
| dc.type | journal article | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 626-634.pdf | 556,35 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.