Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/170237
Title: Моделирование высококонцентрационной диффузии фосфора в кристаллическом кремнии
Authors: Величко, О. И.
Аксенов, В. В.
Ануфриев, Л. П.
Голубев, Н. Ф.
Комаров, А. Ф.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Publisher: Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси
Citation: Инженерно-физический журнал. - 2013. - Том 86, № 3. - С. 626-634.
Abstract: Проведено моделирование диффузии фосфора в кристаллическом кремнии при легировании из поверхностного источника при температуре 840 oС и длительности 10 мин. Получено хорошее совпадение с экспериментальными данными, что подтверждает адекватность использованной модели высококонцентрационной диффузии фосфора, которая учитывает дрейф собственных межузельных атомов в поле внутренних упругих напряжений
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/170237
ISSN: 0021-0285
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
626-634.pdf556,35 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.