Лазерно-плазменный источник ионов с регулируемой энергией для нанесения нанопленок

Abstract

Эксперименты показали, что в эрозионном лазерном факеле графитовой мишени в вакууме формируется двойной электрический слой. Эрозионный лазерный факел формировался при облучении мишени импульсами YAG:Nd3+ лазера с длиной волны λ = 1064 nm длительностью импульса τ = 20 ns. В эксперименте использовались две управляющие сетки. С помощью величины потенциала первой сетки можно регулировать соотношение электронов и ионов, попадающих на подложку. Найден отрицательный потенциал сетки по отношению к мишени (-2,5 В), при котором на подложку поступают только ионы. Используя вторую сетку, можно управлять энергией ионов, а также плотностью потока ионного тока на подложке = Experiments showed that the double electric layer is formed in an erosive laser plume of a graphite target in vacuum. The erosion laser plume was formed at irradiation of the target by the YAG:Nd3+ laser pulses with a wavelength 1064 nm and a duration of 20 ns. Two controlling grid were used in an experiment. Using the potential of first grid we can control by a ratio of the electrons and ions arrive at a substrate. The negative potential of a first grid in relation to a target (-2.5 B) is found at which only ions arrive at a substrate. Using the second grid it is possible to control ions energy, and also density of the ionic current on a substrate