Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170155
Заглавие документа: | Лазерно-плазменный источник ионов с регулируемой энергией для нанесения нанопленок |
Авторы: | Гончаров, В. К. Василевич, А. Е. Ступакевич, В. Ю. Пузырев, М. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2016 |
Издатель: | ЗАО «Финансово-аналитическое агентство «Эф энд Ка» |
Библиографическое описание источника: | Электроника инфо. - 2016. - №11. - С. 54-57. |
Аннотация: | Эксперименты показали, что в эрозионном лазерном факеле графитовой мишени в вакууме формируется двойной электрический слой. Эрозионный лазерный факел формировался при облучении мишени импульсами YAG:Nd3+ лазера с длиной волны λ = 1064 nm длительностью импульса τ = 20 ns. В эксперименте использовались две управляющие сетки. С помощью величины потенциала первой сетки можно регулировать соотношение электронов и ионов, попадающих на подложку. Найден отрицательный потенциал сетки по отношению к мишени (-2,5 В), при котором на подложку поступают только ионы. Используя вторую сетку, можно управлять энергией ионов, а также плотностью потока ионного тока на подложке = Experiments showed that the double electric layer is formed in an erosive laser plume of a graphite target in vacuum. The erosion laser plume was formed at irradiation of the target by the YAG:Nd3+ laser pulses with a wavelength 1064 nm and a duration of 20 ns. Two controlling grid were used in an experiment. Using the potential of first grid we can control by a ratio of the electrons and ions arrive at a substrate. The negative potential of a first grid in relation to a target (-2.5 B) is found at which only ions arrive at a substrate. Using the second grid it is possible to control ions energy, and also density of the ionic current on a substrate |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170155 |
ISSN: | 1999-7515 |
Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.