Провести исследования и разработать программно-математический комплекс комплекс моделирования процессов электромиграции в металлизации субмикронных ИМС : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; рук. Молофеев, В. М.

Молофеев, В. М.; Борздов, В. М.; Гопка, А. В.; Поздняков, Д. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/14831

Title:	Провести исследования и разработать программно-математический комплекс комплекс моделирования процессов электромиграции в металлизации субмикронных ИМС : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; рук. Молофеев, В. М.
Authors:	Молофеев, В. М. Борздов, В. М. Гопка, А. В. Поздняков, Д. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2011
Publisher:	Минск : БГУ
Abstract:	В ходе выполнения научно-исследовательской работы предложена физико-статистическая модель процесса электромиграции в тонкопленочной алюминиевой металлизации субмикронных ИМС, на базе которой разработан программно-математический комплекс EM_Simulation, позволяющий в ходе вычислительного эксперимента провести анализ динамики процесса деградации элементов металлизации различной структуры вследствие электромиграции, оценить изменения электрофизических параметров тонкопленочных элементов при различных режимах работы, рассчитать их показатели надежности.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/14831
Registration number:	№ ГР 20100316
Appears in Collections:	Отчеты 2011

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Отчет 20100316 Молофеев.doc		823,5 kB	Microsoft Word	View/Open

Show full item record Google Scholar