Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133713| Title: | Термостабильность и оптические свойства тонких плёнок TiAlN на кремнии. |
| Authors: | Зайков, В. А. Королик, О. В. Климович, И. М. Комаров, Ф. Ф. Людчик, О. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Минск : РИВШ |
| Citation: | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 53-54. |
| Abstract: | В работе исследовались температурная стабильность и спектральный коэффициент отражения в видимом и близком ИК-диапазоне спектра тонкопленочных покрытий Ti-Al-N на кремнии, полученных методом реактивного магнетронного распыления. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133713 |
| ISBN: | 978-985-500-903-1 |
| Appears in Collections: | 2015. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 053_Zaikov-2.pdf | 495,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.