Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133713Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Зайков, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Королик, О. В. | - |
| dc.contributor.author | Климович, И. М. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-01-05T08:07:56Z | - |
| dc.date.available | 2016-01-05T08:07:56Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 53-54. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-500-903-1 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133713 | - |
| dc.description.abstract | В работе исследовались температурная стабильность и спектральный коэффициент отражения в видимом и близком ИК-диапазоне спектра тонкопленочных покрытий Ti-Al-N на кремнии, полученных методом реактивного магнетронного распыления. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : РИВШ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Термостабильность и оптические свойства тонких плёнок TiAlN на кремнии. | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Appears in Collections: | 2015. Квантовая электроника | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 053_Zaikov-2.pdf | 495,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.