Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133713
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Зайков, В. А. | - |
dc.contributor.author | Королик, О. В. | - |
dc.contributor.author | Климович, И. М. | - |
dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | - |
dc.date.accessioned | 2016-01-05T08:07:56Z | - |
dc.date.available | 2016-01-05T08:07:56Z | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.citation | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 53-54. | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-500-903-1 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133713 | - |
dc.description.abstract | В работе исследовались температурная стабильность и спектральный коэффициент отражения в видимом и близком ИК-диапазоне спектра тонкопленочных покрытий Ti-Al-N на кремнии, полученных методом реактивного магнетронного распыления. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : РИВШ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
dc.title | Термостабильность и оптические свойства тонких плёнок TiAlN на кремнии. | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2015. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
053_Zaikov-2.pdf | 495,78 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.