Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133713| Заглавие документа: | Термостабильность и оптические свойства тонких плёнок TiAlN на кремнии. |
| Авторы: | Зайков, В. А. Королик, О. В. Климович, И. М. Комаров, Ф. Ф. Людчик, О. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2015 |
| Издатель: | Минск : РИВШ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 53-54. |
| Аннотация: | В работе исследовались температурная стабильность и спектральный коэффициент отражения в видимом и близком ИК-диапазоне спектра тонкопленочных покрытий Ti-Al-N на кремнии, полученных методом реактивного магнетронного распыления. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133713 |
| ISBN: | 978-985-500-903-1 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 053_Zaikov-2.pdf | 495,78 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.