Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/133713
Title: Термостабильность и оптические свойства тонких плёнок TiAlN на кремнии.
Authors: Зайков, В. А.
Королик, О. В.
Климович, И. М.
Комаров, Ф. Ф.
Людчик, О. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2015
Publisher: Минск : РИВШ
Citation: Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 53-54.
Abstract: В работе исследовались температурная стабильность и спектральный коэффициент отражения в видимом и близком ИК-диапазоне спектра тонкопленочных покрытий Ti-Al-N на кремнии, полученных методом реактивного магнетронного распыления.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/133713
ISBN: 978-985-500-903-1
Appears in Collections:2015. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
053_Zaikov-2.pdf495,78 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.