Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120311
Заглавие документа: | УПРАВЛЯЕМАЯ ТРАНСФОРМАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ |
Авторы: | Солодуха, В. А. Снитовский, Ю. П. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2015 |
Аннотация: | Исследовано влияния ионного облучения фосфором, аргоном на границу раздела сформированных заранее омических контактов Mo/Si к эмиттерам СВЧ-транзистора. Показано, что такое облучение ионами фосфора с энергией 100 кэВ и последующей термообработкой при температурах 400-500 C приводит к снижению величины переходного сопротивления контактов более чем на 2 порядка величины. Исследованы физические причины, обуславливающие эти позитивные изменения электросопротивления контактных областей. Применение предложенного подхода позволяет улучшить энергетические и частотные характеристики СВЧ-транзисторов, а также повысить их радиационную стойкость. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120311 |
Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Солодуха-Снитовский.pdf | 500,89 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.