Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120311
Title: | УПРАВЛЯЕМАЯ ТРАНСФОРМАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ |
Authors: | Солодуха, В. А. Снитовский, Ю. П. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2015 |
Abstract: | Исследовано влияния ионного облучения фосфором, аргоном на границу раздела сформированных заранее омических контактов Mo/Si к эмиттерам СВЧ-транзистора. Показано, что такое облучение ионами фосфора с энергией 100 кэВ и последующей термообработкой при температурах 400-500 C приводит к снижению величины переходного сопротивления контактов более чем на 2 порядка величины. Исследованы физические причины, обуславливающие эти позитивные изменения электросопротивления контактных областей. Применение предложенного подхода позволяет улучшить энергетические и частотные характеристики СВЧ-транзисторов, а также повысить их радиационную стойкость. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120311 |
Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Солодуха-Снитовский.pdf | 500,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.